安徽北方微電子研究院集團(tuán)有限公司工作人員在調(diào)試設(shè)備。 劉紫薇攝

近日，在第五屆國(guó)際新材料產(chǎn)業(yè)大會(huì)上，安徽蚌埠市委常委、常務(wù)副市長(zhǎng)葛瑞向眾多投資者與企業(yè)家推介了本地硅基、先進(jìn)金屬、無機(jī)非金屬等前沿新材料產(chǎn)業(yè)，傳遞出蚌埠聚力打造新材料產(chǎn)業(yè)新高地的堅(jiān)定決心。

作為一座老工業(yè)城市，蚌埠敏銳捕捉到產(chǎn)業(yè)變革的脈搏，積極推動(dòng)新材料與智能制造深度融合。在此過程中，傳感器逐漸成為驅(qū)動(dòng)蚌埠工業(yè)煥新的關(guān)鍵引擎。

發(fā)揮基礎(chǔ)優(yōu)勢(shì)

走進(jìn)安徽蚌埠的“中國(guó)傳感谷”展廳，一個(gè)由智能感知技術(shù)編織的萬物互聯(lián)新世界在記者眼前徐徐展開。腳步所至，燈光依次點(diǎn)亮，空調(diào)自動(dòng)調(diào)節(jié)至舒適溫度，電子屏幕實(shí)時(shí)顯示出環(huán)境溫濕度與空氣質(zhì)量數(shù)據(jù)。一旁的展臺(tái)上，小巧的傳感裝置能通過步態(tài)分析為腦梗與中風(fēng)的風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估提供參考；而看似普通的鏡子，也因搭載了觸摸、視覺、紅外等多種傳感器，能夠迅速采集面部數(shù)據(jù)，化身為專業(yè)的“美妝顧問”。

“層出不窮的新產(chǎn)品和新技術(shù)，背后是蚌埠傳感器產(chǎn)業(yè)數(shù)十年的積累與沉淀?！卑霾航?jīng)開區(qū)黨工委委員、管委會(huì)副主任董思敏介紹，早在1979年，第五機(jī)械工業(yè)部第二〇七研究所光電集成器件研究分所（以下簡(jiǎn)稱“研究所”）正式在蚌埠命名成立。作為微電子領(lǐng)域的先行者，研究所在20世紀(jì)90年代便涉足微納制造領(lǐng)域，成為國(guó)內(nèi)最早探索這一前沿方向的單位之一。這一先發(fā)優(yōu)勢(shì)，為蚌埠傳感器產(chǎn)業(yè)起步發(fā)展奠定了關(guān)鍵基礎(chǔ)。

“到20世紀(jì)末，蚌埠便已是國(guó)內(nèi)重要的傳感器制造基地?！倍济舯硎荆靥幓春又疄I的蚌埠不僅是華東重要的綜合交通樞紐，更具有科研基礎(chǔ)與產(chǎn)業(yè)實(shí)力。這里集聚了包括中國(guó)玻璃工業(yè)設(shè)計(jì)研究院在內(nèi)的7所國(guó)家級(jí)研究院所，擁有安徽財(cái)經(jīng)大學(xué)等6所高校，以及一批中職院校和地方科研機(jī)構(gòu)。這座老工業(yè)城市在機(jī)械制造方面具有扎實(shí)根基，為傳感器產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展提供了豐厚土壤。

“隨著新一輪科技革命和產(chǎn)業(yè)變革到來，蚌埠傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展遭遇了瓶頸?！倍济籼寡裕霾簜鞲衅髌髽I(yè)不少，但布局分散，產(chǎn)品多集中于中低端領(lǐng)域，難以適應(yīng)智能化、高端化的市場(chǎng)需求，亟需轉(zhuǎn)型升級(jí)。

2022年，脫胎于研究所的安徽北方微電子研究院集團(tuán)有限公司正式成立。該公司科技產(chǎn)業(yè)部部長(zhǎng)助理胡志揚(yáng)介紹，公司建成智能傳感器研制生產(chǎn)工藝線，具有設(shè)計(jì)、制造、封裝、篩選測(cè)試及應(yīng)用的全產(chǎn)業(yè)鏈研制生產(chǎn)能力，通過龍頭企業(yè)引領(lǐng)、協(xié)同攻關(guān)，有效推動(dòng)產(chǎn)業(yè)鏈整體升級(jí)，構(gòu)建適宜傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展的創(chuàng)新生態(tài)體系。

集中資源發(fā)展傳感器產(chǎn)業(yè)，蚌埠正式與安徽北方微電子研究院集團(tuán)有限公司達(dá)成合作，按照“一谷三園多址”產(chǎn)業(yè)集群總體布局，著力打造國(guó)內(nèi)一流、國(guó)際知名的智能傳感器產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)。

“所謂‘一谷’即‘中國(guó)傳感谷’，依托安徽北方微電子研究院集團(tuán)有限公司、希磁科技等鏈主企業(yè)，集聚資源發(fā)展智能傳感器產(chǎn)業(yè)?！倍济舯硎?，“三園”即MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）核心器件產(chǎn)業(yè)園、科技孵化園、中央創(chuàng)新園，結(jié)合企業(yè)在不同發(fā)展階段的特征，構(gòu)建梯次政策體系，實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)招商與企業(yè)培育。此外，針對(duì)布局較為零散的傳統(tǒng)傳感器產(chǎn)業(yè)，則通過“多址”方式進(jìn)行有序承接和過渡緩沖。

依托核心招商

在安徽華鑫微納集成電路有限公司（以下簡(jiǎn)稱“華鑫微納”）的潔凈車間里，透過寬大的觀察窗，記者看到數(shù)臺(tái)專用天車沿著空中軌道平穩(wěn)滑行，穿梭往返中，閃爍著金屬光澤的晶圓被精準(zhǔn)交付至指定工序。

據(jù)介紹，這條產(chǎn)線投資超50億元，不僅是全國(guó)首條8英寸MEMS晶圓全自動(dòng)生產(chǎn)線，也是國(guó)內(nèi)首條設(shè)備配套完整的壓電MEMS量產(chǎn)線、全國(guó)第一條8英寸腦機(jī)接口柔性電極線。“目前產(chǎn)線處于量產(chǎn)爬坡期，今年年底將達(dá)到每月產(chǎn)能1萬片。待產(chǎn)線全部投產(chǎn)后，每月產(chǎn)能預(yù)計(jì)可達(dá)3萬片?！比A鑫微納研發(fā)經(jīng)理廖啟超表示，作為主要從事MEMS晶圓制造的高新技術(shù)企業(yè)，公司致力于在工業(yè)級(jí)高端MEMS芯片上實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)替代，“我們立志成為國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的開放式、定制化MEMS代工平臺(tái)，向全國(guó)乃至全球智能傳感器企業(yè)供貨”。

廖啟超表示，除華鑫微納的8英寸生產(chǎn)線外，安徽北方微電子研究院集團(tuán)有限公司擁有一條月產(chǎn)5000片的6英寸MEMS晶圓生產(chǎn)線，可為客戶提供低成本的中試與小批量試產(chǎn)服務(wù)，6英寸研制線、8英寸量產(chǎn)線互為補(bǔ)充，將有效助力智能傳感器產(chǎn)業(yè)鏈生態(tài)的構(gòu)建與完善。

為實(shí)現(xiàn)傳感器產(chǎn)業(yè)快速轉(zhuǎn)型升級(jí)，蚌埠依托工業(yè)大市優(yōu)勢(shì)，緊抓制造環(huán)節(jié)，不斷推動(dòng)關(guān)鍵生產(chǎn)線落地。“蚌埠目前已擁有集成電路和MEMS晶圓生產(chǎn)線，這在全國(guó)都不多見，這種稀缺的產(chǎn)業(yè)資源，成為蚌埠招引企業(yè)的重要支撐?！卑霾航?jīng)開區(qū)經(jīng)貿(mào)發(fā)展局副局長(zhǎng)王健表示。

同時(shí)，蚌埠錨定智能傳感器發(fā)展特性，基于產(chǎn)線基礎(chǔ)著力打造開放的公共服務(wù)平臺(tái)，持續(xù)促進(jìn)產(chǎn)業(yè)集聚。

“與以往的傳感器不同，智能傳感器一般具有集成化、小型化等特點(diǎn)。在制造環(huán)節(jié)上，一款智能傳感器用于技術(shù)驗(yàn)證的中試產(chǎn)線投資往往高達(dá)數(shù)億元甚至數(shù)十億元，遠(yuǎn)超大多數(shù)企業(yè)的承受能力，這成為傳感器發(fā)展的重要掣肘。”王健認(rèn)為，要解決“研而不產(chǎn)”“產(chǎn)而無研”的斷層問題，需要為企業(yè)搭建研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化的關(guān)鍵橋梁，從根本上降低制造成本。

蚌埠市與安徽北方微電子研究院集團(tuán)有限公司合作，通過政府引導(dǎo)扶持、企業(yè)投資運(yùn)營(yíng)的方式，建設(shè)力傳感器工藝線、溫濕聲類傳感器工藝線、高溫共燒陶瓷工藝線及傳感器檢驗(yàn)試驗(yàn)平臺(tái)等9個(gè)公共技術(shù)服務(wù)平臺(tái)，為設(shè)計(jì)企業(yè)和初創(chuàng)企業(yè)提供流片、工藝孵化服務(wù)。

“這9個(gè)公共技術(shù)服務(wù)平臺(tái)囊括MEMS智能傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展的各個(gè)關(guān)鍵環(huán)節(jié)，為入駐園區(qū)的創(chuàng)業(yè)型企業(yè)和中小企業(yè)補(bǔ)齊上下游產(chǎn)業(yè)鏈短板?！蓖踅”硎?，科研團(tuán)隊(duì)可依托中試產(chǎn)線，快速完成原創(chuàng)技術(shù)工程化驗(yàn)證與試產(chǎn)，順利落戶傳感谷。這一優(yōu)勢(shì)正吸引越來越多的傳感器上下游企業(yè)聚集，進(jìn)一步增強(qiáng)產(chǎn)業(yè)生態(tài)向心力。

數(shù)據(jù)顯示，蚌埠已吸引200多家智能傳感器上下游企業(yè)落戶發(fā)展，其中40多家專精特新企業(yè)初步形成從材料、設(shè)計(jì)、制造、封裝、測(cè)試到應(yīng)用的完整產(chǎn)業(yè)鏈生態(tài)。

健全培育體系

在第五屆國(guó)際新材料產(chǎn)業(yè)大會(huì)展區(qū)內(nèi)，智能傳感是五大核心展覽板塊之一，集中亮相的一系列高性能慣性傳感器與壓力傳感器，以其精密的結(jié)構(gòu)與前沿的技術(shù)，引得不少參會(huì)嘉賓駐足。

“隨著新興產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展，智能傳感器產(chǎn)業(yè)迎來前所未有的發(fā)展機(jī)遇?！卑霾航?jīng)開區(qū)科技經(jīng)濟(jì)信息化局副局長(zhǎng)程詩(shī)浩說，在機(jī)器人領(lǐng)域，柔性觸覺傳感器是實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)抓握的關(guān)鍵；在智能網(wǎng)聯(lián)汽車領(lǐng)域，高性能慣性傳感器支撐著流暢的人機(jī)交互……越來越多的傳感器滲透到未來科技的眾多場(chǎng)景。今年9月份，中國(guó)傳感谷獲評(píng)安徽省通用人工智能產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新園區(qū)。面對(duì)人工智能發(fā)展時(shí)代機(jī)遇，智能傳感器將有效發(fā)揮精準(zhǔn)感知、實(shí)時(shí)采集和邊緣處理作用，為人工智能產(chǎn)業(yè)發(fā)展提供“硬支撐”。

對(duì)蚌埠而言，挑戰(zhàn)也隨之而來。依托“一個(gè)科研院所帶動(dòng)一個(gè)產(chǎn)業(yè)”發(fā)展模式，蚌埠走出一條契合自身資源稟賦的務(wù)實(shí)路徑。但面對(duì)更加智能化的未來，技術(shù)迭代加速、競(jìng)爭(zhēng)格局重構(gòu)，現(xiàn)有研發(fā)體系能否支撐產(chǎn)業(yè)持續(xù)跟上時(shí)代浪潮？

今年5月份，由安徽北方華鑫智感科技有限公司（以下簡(jiǎn)稱“華鑫智感”）打造的中國(guó)傳感谷智能傳感器中試平臺(tái)被工信部評(píng)為首批重點(diǎn)培育中試平臺(tái)?！熬劢雇黄聘咝阅軅鞲衅鳌ú弊印夹g(shù)，我們構(gòu)建‘基礎(chǔ)研究—工程化—產(chǎn)業(yè)化’創(chuàng)新鏈條，實(shí)現(xiàn)覆蓋力、熱、聲、光、濕、氣、磁等十二大類傳感器全工藝流程?！痹摴靖笨偨?jīng)理魏剛劍表示，公司致力于打造從核心敏感元件研發(fā)到智能整機(jī)制造的全產(chǎn)業(yè)鏈創(chuàng)新體系。

據(jù)了解，華鑫智感在MEMS諧振壓力傳感器等高端產(chǎn)品上已實(shí)現(xiàn)多項(xiàng)技術(shù)突破，精度高達(dá)0.01%。溫度傳感器可覆蓋負(fù)200攝氏度至正1600攝氏度超寬溫區(qū)。

“唯有堅(jiān)持科技先行引領(lǐng)，推動(dòng)科技創(chuàng)新與產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新深度融合，才能使蚌埠智能傳感器產(chǎn)業(yè)永葆活力?！倍济粽f，蚌埠經(jīng)開區(qū)重點(diǎn)打造一批企業(yè)研發(fā)中心、技術(shù)中心和新型研發(fā)機(jī)構(gòu)，借助各類平臺(tái)，有效打通產(chǎn)學(xué)研用各環(huán)節(jié)。同時(shí)，培育一批優(yōu)質(zhì)科技型企業(yè)，著力打造“多點(diǎn)開花”發(fā)展格局，為營(yíng)造充滿活力的創(chuàng)新生態(tài)奠定基礎(chǔ)，從而推動(dòng)產(chǎn)業(yè)鏈實(shí)現(xiàn)整體躍升。

蚌埠市針對(duì)不同發(fā)展階段的企業(yè)實(shí)施分層精準(zhǔn)扶持，建立系統(tǒng)而細(xì)致的企業(yè)培育機(jī)制。對(duì)初創(chuàng)企業(yè)而言，著力打通資源渠道，通過對(duì)接科研院所、創(chuàng)投資本和市場(chǎng)平臺(tái)，助其“創(chuàng)無憂、資不愁、路不堵”；對(duì)專精特新“小巨人”企業(yè)而言，側(cè)重優(yōu)化產(chǎn)業(yè)生態(tài)，推動(dòng)延鏈補(bǔ)鏈強(qiáng)鏈，助力其向領(lǐng)軍企業(yè)躍升。同時(shí)，以耐心資本為支撐，設(shè)立多只產(chǎn)業(yè)基金，以投帶引、投早投小，化解企業(yè)研發(fā)與成長(zhǎng)中的資金難題，以全程“陪伴式”服務(wù)，營(yíng)造讓企業(yè)放心投資、安心發(fā)展的優(yōu)良環(huán)境。

“人才是科技創(chuàng)新基礎(chǔ)支撐?！倍济舯硎?，蚌埠還著力加強(qiáng)人才引育，推行“按薪定才”、賦予企業(yè)自主認(rèn)定權(quán)，并選派高?！翱萍几笨偂比肫?，促進(jìn)產(chǎn)學(xué)研融合。

“蚌埠的人才政策很實(shí)在?！比A鑫微納技術(shù)研發(fā)部高級(jí)經(jīng)理蒲義深有感觸。2024年5月，因企業(yè)合作契機(jī)，他從上海來到蚌埠工作。當(dāng)?shù)卣鶕?jù)他的崗位和薪資水平，將其認(rèn)定為D類高層次人才，并在次年全面落實(shí)相關(guān)待遇。

數(shù)據(jù)顯示，2025年1月至10月，蚌埠智能傳感產(chǎn)業(yè)85家規(guī)上工業(yè)企業(yè)產(chǎn)值達(dá)80.86億元、同比增長(zhǎng)24.6%。蚌埠正繼續(xù)書寫屬于自己的“傳感器答卷”。（經(jīng)濟(jì)日?qǐng)?bào)記者 梁 睿 李思隱）